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设计了一种基于MEMS微加工技术制作的共面波导馈电的单向宽带毫米波平面缝隙天线.采用平面矩形缝隙辐射单元，可实现约80%的阻抗带宽（驻波比≤2）.通过增加波束引导缝隙和多层反射截止缝隙，可实现缝隙天线单向辐射，天线增益可由原来的3.8 dB提高到6.8 dB左右.采用Ansoft HFSS有限元仿真软件对设计进行仿真优化，并用CST微波工作室仿真软件对仿真优化进行验证，结果表明，两种仿真结果一致.