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为了提高曲率半径定焦准确度，从移相干涉仪，标准镜头透射波前误差，被测光学元件表面面形误差及调整误差等方面出发，分析影响干涉仪定焦准确度的各因素，并给出各误差补偿表达式．通过对比实验发现，在猫眼及共焦位置处调整误差补偿后，离焦量及曲率半径测量结果的变化趋势由近似线性变为随机变化，同时由离焦量引入的曲率半径变化量由7．05μm减小为0．5μm．在曲率半径干涉测量中，调整误差为影响定焦准确度的主要误差源，调节调整误差可有效控制离焦量的变化，提高曲率半径测量准确度．