两次MOVPE生长的大功率InGaAs-GaAs-InGaP掩埋异质结应变量子阱激光器

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本文给出了带有In0.49Ga0.51i包层的InGaAs-GaAs应变量子阱激光器实验结果。镀有AR-HR膜、并有p-nInGaP电流阻挡结的掩埋异质结激光器,在连续波(CW)和室温(RT)下,给出3.1mA的低阈值电流和95mW的高功率输出。这是首次以两次MOVPE方法生长制作的InGaAs-GaAs-InGaP掩埋异质结激光器。
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