【摘 要】
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以氢氧化钡、硝酸铅为原料,己二胺四乙酸、柠檬酸和酒石酸为复合螯合剂,水为溶剂制备铅酸钡前驱液,采用改进的Sol-Gel技术,成功的在PZT基片上制备出0-3型铅酸钡厚膜。SEM电镜
【机 构】
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华南理工大学材料学院,信息产业部电子第五研究所
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以氢氧化钡、硝酸铅为原料,己二胺四乙酸、柠檬酸和酒石酸为复合螯合剂,水为溶剂制备铅酸钡前驱液,采用改进的Sol-Gel技术,成功的在PZT基片上制备出0-3型铅酸钡厚膜。SEM电镜照片显示,铅酸钡厚膜均匀一致,无裂痕,晶粒大小为1-2μm。厚膜的方阻值随着浆料中固相质量含量的增加而减小,并且随着厚膜厚度的增加,粉体固相含量的影响逐渐减小,不同固相含量的厚膜方阻逐渐趋于一致。以厚膜为上下电极的PZT具有较好的介电性能。
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