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提出了一种表面加工多晶硅薄膜热导率的T型测试结构.给出了热学模型和测试方法,并利用ANSYSTM软件进行模拟分析,验证了该测试方法是适用的.该测试方法能够实现多晶硅薄膜热导率的在线测试.
微加工多晶硅薄膜热导率T型测试结构的设计与模拟
【摘 要】
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提出了一种表面加工多晶硅薄膜热导率的T型测试结构.给出了热学模型和测试方法,并利用ANSYSTM软件进行模拟分析,验证了该测试方法是适用的.该测试方法能够实现多晶硅薄膜热导
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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