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随着中国半导体业的发展，300mm半导体代工厂（foundry）在中国纷纷出现，本讨论介绍了300mm代工厂厂务化学系统的定义和分类、基本构成、安全设计和品质监控的要点，力图使读者对厂务化学系统有一个整体的了解，针对一些化学供应系统的常见问题和可改进之处，提出了改进建议。
300mm半导体代工厂的化学供应系统探讨
【摘 要】
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随着中国半导体业的发展，300mm半导体代工厂（foundry）在中国纷纷出现，本讨论介绍了300mm代工厂厂务化学系统的定义和分类、基本构成、安全设计和品质监控的要点，力图使读者对厂务
【机 构】
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上海交通大学微电子学院
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
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2007年1期
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