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本文利用开尔文力显微镜观测了ZnO薄膜上ZnO／Si台阶处的接触电势差，研究了扫描速度对接触电势差检测的影响，并分析了造成这种影响的原因。实验测得电势分布在ZnO／Si台阶处有明显变化，ZnO／Si的接触电势差为250mV。实测值偏离理论计算值的原因是接触电势差受大气中表面吸附、氧化层、表面电荷等因素的影响。在不同的扫描速度下对同一区域进行扫描，发现扫描速度对接触电势差的检测有很大影响，扫描速度增大，检测结果逐渐偏离真实值，这种现象是力调制模式的开尔文力显微镜的信号处理方式造成的。建议在低速下进行扫描，以