【摘 要】
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新型真空紫外光谱仪是采用棱镜与中阶梯光栅的组合进行交叉色散、二维CCD作为接收器件的新型光谱仪．针对该类型的光谱仪光学系统特点，建立了一种基于物理解析的波长标定数学模
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新型真空紫外光谱仪是采用棱镜与中阶梯光栅的组合进行交叉色散、二维CCD作为接收器件的新型光谱仪．针对该类型的光谱仪光学系统特点，建立了一种基于物理解析的波长标定数学模型，并利用遗传算法对该数学模型的参数进行了优化，通过比较、分析优化前后的结果，参数优化后的模型在两个色散方向上的误差均为2像素，明显小于光谱仪本身6像素的最大分辨率，可满足仪器进行光谱分析时的要求。
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