【摘 要】
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为提高生物分子检测的灵敏度,通过氮化硅基底的制备、二硫化钼（MoS2）薄膜的铺陈以及金属电极的制备等步骤研制了MoS2流体场效应管.将制备好的场效应管进行电学表征并分别在空气
【机 构】
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东南大学机械工程学院,东南大学江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室
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为提高生物分子检测的灵敏度,通过氮化硅基底的制备、二硫化钼（MoS2）薄膜的铺陈以及金属电极的制备等步骤研制了MoS2流体场效应管.将制备好的场效应管进行电学表征并分别在空气和浸润环境中进行性能测试.实验结果表明：当背栅电压为0 V时,漏极电流与电压呈线性关系,电极与二硫化钼样品之间的接触为欧姆接触;用机械剥离方法制备出的MoS2薄膜为单层;浸润环境下场效应管上二硫化钼的电阻比空气中的小,这是由于浸润环境下样品杂质掺杂浓度提高所致;随着液栅电压的增加,漏极电流与电压的曲线斜率也会随之增加,场效应增强.作为
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