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离子束溅射沉积Ir膜真空紫外反射特性研究

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chang_baoping

【摘 要】

：

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【作 者】

：

干蜀毅  刘正坤  盛斌  徐向东  洪义麟  刘颍  周洪 

【出 处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

真空紫外反射膜 真空紫外反射率 Ir膜 离子束溅射 

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