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采用溶胶－用醋酸锶，钛酸丁酯，乙醇铌作为前驱体，用旋涂法制备掺铌钛酸锶多晶薄膜，用醋酸作为醋酸锶溶剂，并用丙三醇作为辅助溶剂，溶胶浓度及粘度均可在较大范围内调节。经６００℃热处理后薄膜转经为钙钛矿结构，扫描俄歇电子显微镜所表面形貌与元素分析表明薄膜均匀，无裂纹，表面光滑，晶粒细小。
溶胶—凝胶法制备掺铌的SrTiO3薄膜
【摘 要】
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采用溶胶－用醋酸锶，钛酸丁酯，乙醇铌作为前驱体，用旋涂法制备掺铌钛酸锶多晶薄膜，用醋酸作为醋酸锶溶剂，并用丙三醇作为辅助溶剂，溶胶浓度及粘度均可在较大范围内调节。经６００℃热处理后
【机 构】
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上海大学物理系
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
：
2000年1期
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