曲边ZnO微米线酒精气敏传感器件的研究

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通过改变生长源中氧化锌与碳粉的比例,利用化学气相沉积的方法生长出曲边ZnO微米线,并通过扫描电子显微镜对曲边ZnO微米线进行形貌表征。表征结果显示曲边ZnO微米线的横截面每一条边均向内弯曲,这主要是由于生长过程中ZnO晶体快速形核,从而导致微米线非线性生长。利用单根曲边ZnO微米线制备酒精气敏传感器,研究其气敏性能。由于曲边ZnO微米线比表面积较大,同时特殊的形貌使其表面更具活性,从而使曲边ZnO微米线酒精气敏器件气敏性能更好,恢复时间更快,这也使得曲边ZnO微米线在酒精测试方面更具推广性。 By changing the ratio of zinc oxide to carbon powder in the growth source, the curved edge ZnO micro-wires were grown by chemical vapor deposition. The curved micro-ZnO wires were characterized by scanning electron microscopy. The characterization results show that each side of the cross-section of the curved edge ZnO micro-wires is bent inwards, which is mainly due to the rapid nucleation of the ZnO crystals during the growth, which leads to the non-linear growth of the micro-wires. A single curved edge of ZnO micro-wire alcohol gas sensor was prepared to study its gas sensitivity. Because of the large specific surface area of ​​the curved side of the ZnO micro-wire, and at the same time, the special morphology makes the surface more active, so that the gas sensitivity of the curved micro-wire acoustic sensor is better and the recovery time is faster. ZnO microwires are more generalized in alcohol testing.
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