【摘 要】
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报道锗硅合金在λ＝１．３μｍ的脊形单模光波导的设计、工艺及测量结果．这种光波导的传播损耗已达０．７ｄＢ／ｃｍ．脊形的高４～８μｍ，宽８～１２μｍ，均和单模光纤芯径相当．此外，其数值孔径在光波导的输入、输出端均能和单模
【机 构】
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天津大学电子工程系，清华大学电于工程系
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报道锗硅合金在λ＝１．３μｍ的脊形单模光波导的设计、工艺及测量结果．这种光波导的传播损耗已达０．７ｄＢ／ｃｍ．脊形的高４～８μｍ，宽８～１２μｍ，均和单模光纤芯径相当．此外，其数值孔径在光波导的输入、输出端均能和单模光纤匹配，它已满足硅光集成对光波导的要求．文中最后报道了用这种锗硅合金光波导试制Ｙ分支器，并观察到二支分路输出的单模光斑．
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