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为了提高硫化锌基底的透过率和膜层的机械强度，对硫化锌基底上的红外宽带减反射膜的设计和制备工艺进行了研究。经过实验，选取镀膜材料，优化沉积工艺参数以及采用离子柬辅助沉积技术，研制出膜层附着力好，光学性能稳定的红外增透膜。最后，对制备的增透膜进行环境实验，各项指标均满足设计要求。
硫化锌基底8～12μm红外增透膜的研究
【摘 要】
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为了提高硫化锌基底的透过率和膜层的机械强度，对硫化锌基底上的红外宽带减反射膜的设计和制备工艺进行了研究。经过实验，选取镀膜材料，优化沉积工艺参数以及采用离子柬辅助沉积
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院
【出 处】
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长春理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年2期
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