论文部分内容阅读
为了减小线结构光传感器光源对测量精度的影响 ,设计了一种集整形和能量校正为一体的非线性光源单向扩展光路。应用反高斯分布的液体吸收滤光镜 ,实现了高斯光束强度的径向均匀化。并应用矩形光阑和两个相互垂直放置的柱面镜 ,对准直后的激光束进行整形 ,分别在不同的方向进行拉伸和压缩 ,得到了形状理想的线光源。此技术已成功应用于BGA芯片管脚的三维尺寸测量中。