【摘 要】
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通过在乙二醇甲醚中溶解二水合乙酸锌(Zn(CH3COO)2·2H 2O)和二水合氯化亚锡(SnCl2·2H2O)制备了锌锡氧化物(ZnSnO)前驱体溶液,采用喷墨打印技术制备了锌锡氧化物薄
【机 构】
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吉林建筑大学吉林省建筑电气综合节能重点实验室
【基金项目】
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吉林省教育厅“十三五”科学技术项目(JJKH20190865KJ)
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通过在乙二醇甲醚中溶解二水合乙酸锌(Zn(CH3COO)2·2H 2O)和二水合氯化亚锡(SnCl2·2H2O)制备了锌锡氧化物(ZnSnO)前驱体溶液,采用喷墨打印技术制备了锌锡氧化物薄膜晶体管(ZTO-TFT),研究了不同退火温度对ZnSnO薄膜光透过率和TFT器件电学性能的影响.结果表明,不同退火温度对薄膜的可见光区透过率有一定影响,退火温度低于400℃时,随着退火温度的升高,薄膜的可见光区透过率有所上升,当退火温度达到400℃以上时,薄膜的可见光区透过率基本不受影响,且平均透过
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