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主要研究变角度变波长椭圆偏振仪测量多层膜每层膜厚和光学特性,并给出了光学梯度薄膜的梯度特性.
椭圆偏振仪在纳米测量技术中的应用
【摘 要】
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主要研究变角度变波长椭圆偏振仪测量多层膜每层膜厚和光学特性,并给出了光学梯度薄膜的梯度特性.
【机 构】
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上海交通大学分析测试中心上海200030
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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2003年2期
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