【摘 要】
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介绍用于表面粗糙度在线测量的各种非接触光学法,包括反射光位置检测法、聚焦误差检测法、使用光纤和光杠杆的方法。其结果和机械式表面粗糙度轮廓仪所得十分吻合。然而、切
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介绍用于表面粗糙度在线测量的各种非接触光学法,包括反射光位置检测法、聚焦误差检测法、使用光纤和光杠杆的方法。其结果和机械式表面粗糙度轮廓仪所得十分吻合。然而、切屑、润滑液和机床振动会影响在线测量的精度或可行性。
Various non-contact optical methods for on-line measurement of surface roughness are introduced, including reflected light position detection, focus error detection, and methods using optical fibers and optical levers. The result is in good agreement with the mechanical surface roughness profiler. However, chip, lubricant and machine vibration can affect the accuracy or feasibility of on-line measurements.
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