【摘 要】
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报道了一种利用AlGaN/GaN异质结中二维电子气导电且阈值电压可调的垂直氮化镓场效应管,通过双横向沟道的设置,在提高氮化镓器件电流密度的同时,通过改变器件顶部氮化镓刻蚀区域实现了器件阈值电压可调节。使用器件仿真TCAD软件,分析了不同刻蚀区域时器件的击穿电压、阈值电压之间的关系,在实现电流密度较高、耐压特性较好的同时,器件阈值电压可达1.02～1.68 V,并且得到最优刻蚀区域条件下,器件的阈值
【基金项目】
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广东省重点领域研发计划项目（2019B010138002）；
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报道了一种利用AlGaN/GaN异质结中二维电子气导电且阈值电压可调的垂直氮化镓场效应管,通过双横向沟道的设置,在提高氮化镓器件电流密度的同时,通过改变器件顶部氮化镓刻蚀区域实现了器件阈值电压可调节。使用器件仿真TCAD软件,分析了不同刻蚀区域时器件的击穿电压、阈值电压之间的关系,在实现电流密度较高、耐压特性较好的同时,器件阈值电压可达1.02～1.68 V,并且得到最优刻蚀区域条件下,器件的阈值电压为1.18 V,源极输出电流密度可达7.2 kA/cm2,击穿电压为750 V左右,导通电阻为0.52 mΩ·cm2。
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