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对由碲镉汞薄膜减薄工艺导致的损伤层的研究至关重要.采用扫播电镜研究了碲镉汞薄膜经减薄工艺后的损伤层,荻得了非當有价值的实验结果.结果对由碲镉汞薄膜减薄工艺形成损伤层的认识和后续的工艺优化具有非常重要的指导意义.
碲镉汞薄膜减薄损伤的扫描电镜研究
【摘 要】
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对由碲镉汞薄膜减薄工艺导致的损伤层的研究至关重要.采用扫播电镜研究了碲镉汞薄膜经减薄工艺后的损伤层,荻得了非當有价值的实验结果.结果对由碲镉汞薄膜减薄工艺形成损伤
【机 构】
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华北光电技术研究所,中电科电子装备集团有限公司
【出 处】
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红外
【发表日期】
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2017年8期
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