碳化硅半导体技术新进展

来源 :西安电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sb871697914
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介绍了SiC材料的生长及器件制备技术,分析了目前SiC器件及集成电路等方面的研究现状,并讨论了存在的各种问题. The growth of SiC materials and device fabrication techniques are introduced. The current research status of SiC devices and integrated circuits are analyzed and various existing problems are discussed.
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