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表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化

来源 :半导体学报 | 被引量 : 1次 | 上传用户：LUEYONGS

【摘要】

：

研究了基于SOI(silicononinsulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性,推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式.分析了各种参数对性能的影响,提出了参数设计与优化的流程.得到了一套灵敏度为-1·8×10-3m/N,分辨率为8·5×10-5N/m,弹性系数为0·023N/m,谐振频率为1·3×104Hz的设计参数.

【作者】

：

庄志伟王喆垚刘理天

【机构】

：

清华大学微电子学研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2006年10期

【关键词】

：

MEMS 压阻 SOI 表面应力测量悬臂梁传感器 MEMS piezoresistive SOI surface stress measurement ca

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研究了基于SOI(silicononinsulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性,推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式.分析了各种参数对性能的影响,提出了参数设计与优化的流程.得到了一套灵敏度为-1·8×10-3m/N,分辨率为8·5×10-5N/m,弹性系数为0·023N/m,谐振频率为1·3×104Hz的设计参数.

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