论文部分内容阅读
为了克服传统SOI器件的浮体效应和自热效应，采用创新的工艺方法将低剂量局域SIMOX工艺及传统的CMOS工艺结合，实现了DSOI结构的器件。测试结果表明，该器件消除了传统SOI器件的浮体效应，同时自热效应得到很大的改善，提高了可靠性和稳定性，而原先SOI器件具备的优点得到了保留。
一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件
【摘 要】
：
为了克服传统SOI器件的浮体效应和自热效应，采用创新的工艺方法将低剂量局域SIMOX工艺及传统的CMOS工艺结合，实现了DSOI结构的器件。测试结果表明，该器件消除了传统SOI器件的浮
【机 构】
：
清华大学微电子学研究所,中国科学院上海冶金研究所离子束实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2003年6期
【基金项目】
：
国家自然科学基金 (批准号 :5 9995 5 5 0 -1),,国家重点基础研究专项经费 (编号 :G2 0 0 0 0 365 0 1)资助项目~~
其他文献
梁漱溟作为中国20世纪上半叶一位影响深远的思想家，以其特有的知识结构会通中西，统领古今。探文化之源，索文化之本，解文化之变，求文化之路，建构了一个较为完备的文化哲学体系，为我们
电子信息科学与技术专业是一门实用性较强的专业,在教学的过程中培养学生的实践能力就显得尤为重要。本文主要阐述了电子信息科学与技术专业实践教学的方法,旨在为进一步提高
科学发展观，是以胡锦涛为总书记的党中央在准确把握世界发展趋势、认真总结我国发展经验、深入分析我国发展阶段性特征基础上提出的重大战略思想，是我国经济社会发展的重要指导
经济技术合作的一种有效方式就是企业迁移,或者说内资招商就是用招商的手段促进企业的迁移,简单地说,就是按照招商人员的意愿使企业定向流动。何谓企业迁移?企业迁移是指企业
【正】各位代表:受市人民政府委托,现将北京市2008年预算执行情况和2009年预算草案的报告提请市第十三届人大第二次会议审议,并请市政协各位委员提出意见。一、关于2008年预
提高领导工作者素质是加强党执政能力的关键,构建和谐相处的社会是巩固党执政的社会基础,也是党实现执政的历史任务和目标。当前经济改革正进入深层次阶段。领导工作者如何拿
艰苦朴素精神是中华民族优秀的革命传统，但随着时代的发展和人民生活水平的提高，人们开始不太重视这些，甚至有人提出疑问：“既然现在国家提倡扩大内需，对大学生艰苦朴素精神教育进
<正>京司发[2011]423号《北京市司法局法律职业资格认可程序规定》自2011年12月3日起施行。北京市司法局2004年12月30日发布的《北京市司法局行政许可程序规定》(京司发[2004
期刊
新中国成立以来中国特色社会主义理论基础奠定即是马克思主义哲学在中国化的过程中与不同社会思想的交锋密不可分。马克思主义哲学中国化的每一阶段的理论成果，无不是社会各界