【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备了不同掺Cd浓度的ZnO薄膜。X射线衍射（XRD）结果表明,所制备的薄膜具有c抽择优取向,随着Cd掺杂浓度的升高,（002）峰向低角度方向移动。UV透射曲线
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备了不同掺Cd浓度的ZnO薄膜。X射线衍射（XRD）结果表明,所制备的薄膜具有c抽择优取向,随着Cd掺杂浓度的升高,（002）峰向低角度方向移动。UV透射曲线表明,薄膜具有明显的紫外吸收边,通过改变Cd的掺入浓度,可以使吸收边向长波方向移动并被控制在一定范围内,从而使薄膜的禁带宽度连续可调;薄膜的光致发光（PL）谱显示,ZnO薄膜的PL谱是由紫外激子发光峰和蓝光发光带组成,通过掺入Cd可使紫外带边发射的峰位向低能端方向红移,这与透射谱中吸收带边的红移相吻合,由紫外发光峰得到的
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