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采用真空电子束蒸发镀膜工艺制备纳米厚度的Nd∶YAG薄膜,经1 100°C真空高温退火处理使Nd∶YAG薄膜有效结晶,对Nd∶YAG薄膜的表面形貌、晶体结构、光致发光特性进行了测试。
真空电子束蒸发制备Nd∶YAG薄膜
【摘 要】
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采用真空电子束蒸发镀膜工艺制备纳米厚度的Nd∶YAG薄膜,经1 100°C真空高温退火处理使Nd∶YAG薄膜有效结晶,对Nd∶YAG薄膜的表面形貌、晶体结构、光致发光特性进行了测
【机 构】
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华南师范大学信息光电子科技学院,广州市光机电技术研究院
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2012年1期
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