基于膜式液压放大的压电驱动器设计与试验

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为解决叠堆式压电陶瓷输出位移微小的问题,结合液压放大的优点,提出了一种基于膜式液压放大的压电驱动器,并对关键部件——橡胶膜片进行有限元静力学、模态等分析。分析结果表明:橡胶膜片具有足够的安全强度和良好的工作频宽。在此基础上,研制其实物样机,搭建其测控平台,并进行了试验研究。开环试验结果表明:在0~100V电压控制下,所研制的压电驱动器输出位移范围为0~0.24mm,放大比约为5;闭环控制试验结果表明:采用分段PID的驱动器控制效果优于采用常规PID的控制效果,稳态误差约为±0.5μm。
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