【摘 要】
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根据波像差理论,分析了光学头中各误差源及其对波像差造成的影响,制定了相应公差容限,分析了微光斑的显微测试原理,建立了一种显微放大系统,能有效地评价光点质量。
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根据波像差理论,分析了光学头中各误差源及其对波像差造成的影响,制定了相应公差容限,分析了微光斑的显微测试原理,建立了一种显微放大系统,能有效地评价光点质量。
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