氮化铝薄膜的光学性能

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分别使用X衍射仪和紫外(190nm~800nm)分光光度仪,测量了用分子束外延法生长在SIC(001)基底面上的AIN薄膜的X衍射、透射谱和不同温度下的吸收谱.X衍射表明:实验所用的AIN薄膜在P轴存在应变和应力,该应变和应力主要是由于AIN的晶格常量与基底SiC的晶格常量不匹配所致.透射谱表明:AIN薄膜的禁带宽度大约为6.2eV;而其对应的吸收谱在6.2eV处存在一个明显的台阶,此台阶被认为是AIN薄膜中的带边自由激子吸收所产生,忽略激予的结合能(与禁带宽度相比),则该值就时应为AIN的禁带宽度.而其
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