【摘 要】
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以BCl3-C3H6-H2为反应体系,采用化学气相沉积法（CVD）在炭纤维束上制备了B-C体系材料,研究了沉积温度的影响。利用SEM和XPS对BCx层的微结构、元素含量和化学结构进行表征,并结合
【机 构】
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西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室
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以BCl3-C3H6-H2为反应体系,采用化学气相沉积法（CVD）在炭纤维束上制备了B-C体系材料,研究了沉积温度的影响。利用SEM和XPS对BCx层的微结构、元素含量和化学结构进行表征,并结合化学反应过程,探讨了导致沉积产物形貌、成分和键结合状态的差异原因。结果表明,沉积温度对B-C层生长速率和断面形貌均有较大影响：900℃沉积时,沉积较慢,断面平整;1000℃时,沉积速度加快,断面呈显著片层状结构;B-C层内B元素原子含量随沉积温度升高而降低;沉积产物内B元素键结合状态有：B4C、B替代C、BC2O、
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