离轴照明下依赖于入射角度的矢量霍普金斯公式

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应用矢量电磁场理论和波导模型推导出离轴照明下的矢量霍普金斯公式,与传统的标量霍普金斯公式不同之处在于引入了入射角及入射方位角.通过仿真实际投影光刻工艺下三维掩模的成像效果,分析了最佳入射角范围,讨论了离轴照明时入射角对最终成像质量的影响. The vector Hopkins formula derived from off-axis illumination is derived by using the vector electromagnetic field theory and the waveguide model. The difference from the traditional scalar Hopkinson formula is the introduction of the incident angle and incident azimuth. By simulating the actual projection lithography process The effect of the incident angle on the final imaging quality is discussed.
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