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采用真空热蒸发镀膜的方法制备了酞菁铜（CuPc）和富勒烯（C60）构成的平面异质结结构光伏器件，并初步研究了CuPc薄膜生长速率对器件光伏性能的影响，我们发现以较大薄膜生长速率制备的器件表现出较大的短路电流和能量转换效率。X射线衍射和原子力显微镜观察的结果表明生长速率较大的CuPc薄膜结晶相含量较少，薄膜结构较均匀、致密、平整，这可能使得CuPc薄膜激子扩散和载流子迁移特性得到提高，也可能改善其与C60受主薄膜和ITO阳极的接触，并有利于载流子的分离和收集，从而表现出较好的光伏特性。