【摘 要】
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采用商用有限元软件ABAQUS建立了单晶硅纳米压痕过程的2D轴对称模型，通过分析模拟得到载荷一位移曲线，讨论了压头尖端半径、压头与样品间的摩擦系数对压痕过程的影响规律。为了
【机 构】
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北京航空航天大学机械工程及自动化学院,中国工程物理研究院电子工程研究所
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采用商用有限元软件ABAQUS建立了单晶硅纳米压痕过程的2D轴对称模型，通过分析模拟得到载荷一位移曲线，讨论了压头尖端半径、压头与样品间的摩擦系数对压痕过程的影响规律。为了验证模拟结果的有效性，用美国Hysitron公司的Triboindenter纳米压痕仪进行了实验。由仿真结果可知，在固定压深的条件下，增大压头尖端半径，所需施加的载荷增加，弹性回复程度增加。而摩擦系数的改变对压痕过程影响不大，可以在模拟中忽略不计。对比仿真曲线和实验曲线，实验曲线在卸载段55nm处出现了一明显拐点，使得其弹性回复程度远大
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