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采用波长为1040 nm、脉宽为388 fs、重复频率为100 kHz的飞秒激光对石英玻璃表面进行大深宽比微型凹槽的刻蚀.首先,通过面积推算法,实验测量得到石英玻璃的损伤阈值为10.61 J/cm2.然后,采用单线刻蚀法,研究了激光单脉冲能量、扫描速度和扫描次数对微槽刻蚀深度和宽度的影响.最后,利用激光扫描振镜,使用螺旋环切法,有效地增大微槽深宽比.实验结果表明:激光单脉冲能量是影响微槽深宽比的主要因素,在激光单脉冲能量为110 pJ、扫描速度为100 mm/s、扫描次数为30的条件下,能够获得质量良好、槽宽50pm且深宽比达5.4的石英玻璃微槽.