【摘 要】
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以聚合物生物芯片的反应腔微结构为研究对象,将微结构划分为顶部未变形区域、底部变形区域和筒壁拉深区域,并将标准热压过程细分为4个过程,通过封装和切片等方式制样,结合数字显微镜等工具观察微结构成型效果及各区域微尺寸变化规律.试验结果表明:反应腔微结构顶部未变形区薄膜厚度未变化,底部变形区薄膜厚度发生较大变化;受材料流动性限制,筒壁拉深区与底部变形区厚度不一致;热压成型过程中降低脱模温度对反应腔型腔尺寸影响较大.
【机 构】
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大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连 116024;大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连 116024;大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁 大
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以聚合物生物芯片的反应腔微结构为研究对象,将微结构划分为顶部未变形区域、底部变形区域和筒壁拉深区域,并将标准热压过程细分为4个过程,通过封装和切片等方式制样,结合数字显微镜等工具观察微结构成型效果及各区域微尺寸变化规律.试验结果表明:反应腔微结构顶部未变形区薄膜厚度未变化,底部变形区薄膜厚度发生较大变化;受材料流动性限制,筒壁拉深区与底部变形区厚度不一致;热压成型过程中降低脱模温度对反应腔型腔尺寸影响较大.
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