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建立了镍基高温合金中Sc、Cu、Zn、Ga、Ge、As、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Te、Ce、Hf、Tl、Pb、Bi17种痕量元素的激光剥蚀一电感耦合等离子体质谱测定方法。对激光剥蚀进样及质谱分析条件进行了优化，通过激光对样品表面的层层剥蚀顺利完成了对低沸点杂质元素的测定。采用格栅扫描采样，严格控制样品的聚焦位置和散焦距离以保证采样的准确性，由高温合金系列标准物质建立了18种痕量元素的校正曲线，其中14种痕量元素的线性相关性较好（r^2〉0．99），In、Sn、Sb、Ce、Tl、Pb、Bi等超痕量元素