【摘 要】
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众所周知,在汽相外延过程中,来自掺Cr-GaAs单晶衬底的补偿杂质以自掺杂和外扩散的形式进入外延层,造成外延材料的补偿.随着FET器件的发展,近年来,从补偿度来研究材料特性渐渐
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众所周知,在汽相外延过程中,来自掺Cr-GaAs单晶衬底的补偿杂质以自掺杂和外扩散的形式进入外延层,造成外延材料的补偿.随着FET器件的发展,近年来,从补偿度来研究材料特性渐渐受到重视.本文介绍了一种“背液封”技术,避免衬底杂质的外扩散,制备具有低补偿度的GaAs外延材料.
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