【摘 要】
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光学元件的激光诱导损伤阈值是衡量其抗激光损伤能力的重要指标。周期性表面光学元件具有良好的光学特性，在高功率激光系统中也有着潜在的应用，准确测定其激光诱导损伤阈值尤为关键。本文分析了激光诱导损伤阈值不确定度的主要来源，建立了激光诱导损伤阈值不确定度的计算公式，给出了减小激光损伤阈值不确定度的处理方法。结果表明：当激光的标定光斑半径为400μm、误差为10μm、激光能量误差为5%时，能量密度引入的不确
【机 构】
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西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（61378050）；
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光学元件的激光诱导损伤阈值是衡量其抗激光损伤能力的重要指标。周期性表面光学元件具有良好的光学特性，在高功率激光系统中也有着潜在的应用，准确测定其激光诱导损伤阈值尤为关键。本文分析了激光诱导损伤阈值不确定度的主要来源，建立了激光诱导损伤阈值不确定度的计算公式，给出了减小激光损伤阈值不确定度的处理方法。结果表明：当激光的标定光斑半径为400μm、误差为10μm、激光能量误差为5%时，能量密度引入的不确定度为0。则激光损伤阈值的不确定度主要来源为损伤几率不确定度和线性拟合不确定度。通过增加每一能量级的测量次数，可以进一步减小激光损伤阈值的不确定度。
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