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在ＫＹＫＹ－１０００Ｂ型扫描电子显微镜上所开发的与其联用的袖珍型扫描隧道显微镜主要有四个部分：（１）减震阻尼装置，（２）隧道探针，（３）探针扫描与逼近装置，（４）电子控制与图象采集系统。它的分辨率约为１ｎｍ，并用它观察了半导体光栅与硅上金膜的细微结构。
扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜联用装置
【摘 要】
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在ＫＹＫＹ－１０００Ｂ型扫描电子显微镜上所开发的与其联用的袖珍型扫描隧道显微镜主要有四个部分：（１）减震阻尼装置，（２）隧道探针，（３）探针扫描与逼近装置，（４）电子控制与图象采集系统。它的分辨率约为１ｎｍ，并用它观察了
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院化学研究所
【出 处】
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分析测试技术与仪器
【发表日期】
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1999年1期
【基金项目】
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中国科学院仪器设备研制项目
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