论文部分内容阅读
在先进加工制造领域中,精密工作台和精密导轨是保证机床制造精度和仪器测量精度的重要运动部件。工作台和导轨的准确装配和调节,以及在几何空间的静止形态与运行状态的探测和操纵等,都必须对其多个自由度误差进行在线实时检测。本文将激光干涉仪和自准直仪统一于同一个激光测量系统中,实现了对二维工作台进行多自由度同时测量。本文主要完成了以下工作:(1)对多自由度同时测量方法进行深入研究,介绍了激光多自由度同时测量系统的测量原理。基于整体式光路布局和偏振干涉技术,完善了激光测量光路,提高了系统的稳定性。(2)为得到高质