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晶圆级MoS2及其阵列器件的可控制备研究
【摘 要】
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半导体芯片制造业以不断缩小特征尺寸,实现高密度集成为动力蓬勃发展,仍逃不过物理极限的约束。二硫化钼(MoS_2)作为研究最为广泛二维材料中的一员,单层具有原子级别厚度和超高的载流子迁移率、有限的禁带宽度,在晶体管中可用作沟道材料,降低短沟道效应带来的影响,适应不断缩小的特征尺寸。然而实现MoS_2广泛应用必须解决晶圆级可控制备问题。本文采用两步法实现面积、厚度可控晶圆级MoS_2的制备并构建阵列器
【机 构】
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天津理工大学
【出 处】
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天津理工大学
【发表日期】
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2019年08期
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