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本文以无机盐硝酸锆、醋酸铅和金属有机物钛酸丁脂为原材料,采用溶胶—凝胶工艺,通过甩胶在α—Al_2O_3衬底上制备PZT(50/50)铁电薄膜。分析了加水量、溶液的pH值以及溶剂的选取与加入量等因素对前驱体溶液稳定性的影响,探讨了不同的催化剂和添加剂对薄膜质量的影响,获得了最佳工艺条件。此外,由于无机锆盐取代金属锆醇盐引起薄膜晶化温度提高,采用PbTiO_3(PT)膜为过渡层可促进PZT薄膜晶化。用XRD和SEM技术分析了不同热处理工艺条件下PZT薄膜的微观形貌变化及相结构演化,