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在过去的15年间,超硬涂层的研究得到了迅速发展,研究者制备出大量同时具有优异机械性能和化学性能的超硬涂层,有效提高了材料的强度、表面硬度、耐磨性和高温稳定性等性能,大幅度延长了涂层产品的使用寿命。本文选取TiN/SiN_X纳米多层膜体系作为研究对象,详细地研究了溅射压强、衬底偏压、沉积温度及溅射气体流量比对多层膜的界面结构、相结构及力学性能的影响,在此基础上研究了周期和SiN_X层厚对微结构、力学性能及热稳定性的影响。最后详细研究了多层膜薄膜和衬底的断裂行为。