近年来，柔性光电系统由于其独特的柔韧性和延展性，在可折叠、能弯曲等图像显示，便携式太阳能电池等方面有着广阔的应用前景。因此有必要针对柔性光电系统中的重要微光学元件之一的柔性微透镜阵列进行相关研究。本文基于DMD(Digital Micromirror Device)数字光刻系统，研究如何利用数字光刻系统制作柔性微透镜阵列的方法，并对制作出的柔性微透镜阵列进行了测试与分析。主要工作如下：首先，对微透镜阵列的发展和现状、微透镜阵列的制作方法、柔性微透镜阵列的发展前景进行了论述，详细介绍了几种微透镜阵列的制作方法例如直写技术、二元套刻技术、灰度掩模技术以及数字光刻技术，简要介绍了柔性微透镜阵列的应用以及优点，并对本文的工作进行了简要的介绍。其次，介绍了基于计算机控制无掩模的数字化光刻技术设计微透镜阵列的方法。在了解标量衍射理论设计折射型微透镜的基本理论基础上，根据光刻胶种类以及参数，并结合实验室的设备仪器的条件，设计柔性微透镜阵列的蜂窝状排列方式，进一步减小了阵列的占空比，利用MATLAB以及CorelDRAW绘图软件绘制出柔性微透镜阵列的数字掩模。然后，本文详细给出了基于数字掩模光刻系统制作柔性微透镜阵列的方法，详细剖析了DMD数字光刻系统各部分的工作原理以及轮廓仪的工作原理，详细给出试验中用到的仪器用品的参数与实验步骤，给出实验结果并对实验结果进行了误差分析。最后，对柔性微透镜阵列的折射率进行了测试以及部分光学性质进行了研究，对微透镜阵列的焦距进行了计算。对制作出的柔性微透镜阵列进行了光场测试，由于柔性微透镜阵列在应用时在外力作用下会有变形，因此本文也对柔性微透镜的形变作了初步分析。