集成电路是电子信息产业的重要基础,IC制造装备作为其技术先导,是信息产业发展的支柱。据统计,硅外延片销量占全球整体硅片市场的份额超过30%,并且其需求量呈现出持续上升的态势,国内对硅外延片的需求增速则更为迅猛,需求迫切。国外,200mm、300mm的硅外延片已成主流；而国内能制造的硅外延片主要为100-150mm,对200mm及以上尺寸的硅外延片制造则不具能力,只能依赖进口。硅片传输控制软件是硅外延片生产制造的依托,软件质量的高低直接影响着硅外延片的质量。目前,国内拥有对硅片传输机器人系统或硅片预对准系统的研发,但不管是硅片传输机器人系统还是硅片预对准系统都只是硅片传输控制系统的一个子系统,本文将着重对整个硅片传输控制系统进行研究,开发出符合要求的外研设备硅片传输控制软件。首先,本文采用分层模块化的设计方法对外研设备硅片传输控制软件进行设计,以满足软件的扩展性、易用性,减小软件的出错率,提高软件质量；其次,本文利用有限状态机原理设计软件各层次模块的状态模型,对软件进行逻辑控制,以满足软件在工作时正确的逻辑调度；再次,本文运用面向对象的程序设计语言C#和分层模块化的编程方法,完成了整个硅片传输控制系统的代码编写,并在此基础上进行软件模拟测试。希望本课题的研发能够对国内200mm硅外延片的制造提供帮助。