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随着微波器件朝集成化、模块化、小型化、环境友好型方向发展,低温共烧微波陶瓷受到广泛的关注,主要应用于滤波器、谐振器、雷达、天线、无线等通讯领域。本文通过XRD、SEM、EDS、网络分析仪等手段,系统研究了玻璃助剂、Ti02、(Zn1/3Nb2/3)4+替代对Li2TiO3和Li2MTi3O8(M=Zn,Mg)微波介质陶瓷的烧结特性、相组成、微观结构及介电性能的影响。研究结果如下:(1)系统研究了LMB玻璃、(Zn1/3Nb2/3)4+替代Ti4+对Li2TiO3陶瓷的相变、微观结构、烧结特性及微波介电性能的影响:在Li2Ti1-x(Zn1/3Nb2/3)xO3(0×0.5)体系中,当x0.2时,为单斜Li2Ti03相;当x0.3时发生有序-无序相变,且出现少量的Zn2Ti308第二相。随着x量增多,r、Q×f先升高后降低,当x=0.2时达到最大值,r、Q×f值高达20.2、75,257GHz,,从37.88ppm/℃降至-26.73ppm/℃。通过添加LMB玻璃使得Li2Ti03陶瓷的烧结温度降至850℃,添加5wt%LMB的Li2Ti03陶瓷在850℃烧结3h时获得优异的微波介电性能为r=21.4,Qxf=64,122GHz,f=26.9ppm/℃。(2)对添加LBS/TiO2的Li2ZnTi3O8陶瓷的低温共烧、微波介电性能进行研究:添加LBS玻璃将Li2ZnTi3O8陶瓷的烧结温度从1050℃降低至875℃。随着LBS玻璃添加量增多,相对密度、r和Q×f值都下降,f向从-9.8ppm/℃降低至-13.4ppm/℃。在此基础上,通过添加Ti02调节了f接近于0,且能有效改善r和Q×f值。LZT+1wt%LBS+3.5wt%TiO2陶瓷在875℃/4h时的介电性能为r=26,Q×f=44,023GHz,f=-4.4ppm/℃。与Ag共烧化学兼容性好,有望用于制造LTCC微波器件。(3)对添加ⅠLZB/TiO2的与Ag共烧Li2ZnTi3O8陶瓷的微波介电性能进行研究:添加LZB降低Li2ZnTi3O8陶瓷的烧结温度至875℃,微波介电性能优异。添加1wt%LZB的LZT陶瓷微波介电性能最佳:r=23.9, Q×f=31,608GHz,f=-14.3ppm/℃。通过添加适量的Ti02有效的调节f和提高r。LZT+lwt%LZB+3.5wt%TiO2陶瓷在900℃/4h时微波介电性能为r=26.1, Q×f=45,168GHz,f=-4.1ppm/℃。与Ag电极共烧化学兼容性好,有望制造LTCC微波器件。(4)对添加LMB玻璃的Li2MgTi308陶瓷的低温烧结进行研究:添加LMB玻璃使Li2MgTi308陶瓷的烧结温度从1025℃降至875℃。随着添加量的增多,r和Q×f先上升后降低,掺杂1wt%LMB的LMT陶瓷微波介电性能最佳:r=26,Q×f=49,406GHz, f=3.2ppm/℃。该陶瓷与Ag电极化学兼容性好,有望用于制作LTCC微波器件。