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在高功率激光驱动装置系统中，光学元件的负载能力是影响高功率激光器输出的重要因素。污染物是使激光致光学元件损伤阈值和使用寿命降低的重要原因。所研究污染物致光学元件损伤机理是发展高功率激光驱动装置的当务之急。通过对污染物成分的分析，进行了激光诱导不锈钢膜状污染物致熔石英损伤实验研究，其中得到的结论如下：1.给出了高功率激光致光学元件损伤中污染物的定义。2.利用擦拭取样和真空采样罐取样得到了污染物样品，并利用GS-MS、LC-MS、XPS、ICP-MAS等仪器分析了污染物成分。3.通过实验比较分析了S-on-1方法与R-on-1方法在测量附着污染物光学元件损伤阈值时的优劣性。搭建实验平台，使用SAGA-S激光器辐照样品并利用S-on-1方法测量样品损伤阈值。4.使用激光能量密度为6J/cm~2的脉冲激光继续辐照损伤点以得到损伤增长模型，对附着污染物样品和纯净基片的损伤因子进行比较，并观察损伤点形貌的变化情况。5.建立了热吸收模型，通过理论计算给出了7.8J/cm~2脉冲激光辐照样品时基片表面的温度，并与实验结果进行印证。