本文首先在已经研制的微小型机床实验样机基础上，对基于PMAC卡的机床控制系统进行了参数整定。由于该机床采用压电陶瓷超声电机直接驱动工作台，进给系统的定位精度和刚度对机床的加工精度影响很大。因此，对机床的定位精度和刚度进行了实验研究分析，使其满足一定的要求，为后继的微细铣削实验提供了条件。 其次，采用二次回归通用旋转组合设计，进行了微细铣削沟槽实验，利用回归分析方法建立了微细铣削表面粗糙度二次模型。分析了切削参数对表面粗糙度的影响，利用该二次模型可以在加工前选定切削参数，从而对微细铣削表面粗糙度进行预测与控制。 最后，实验研究了微细铣削沟槽过程中毛刺的形成及其影响因素，得到了微细铣削过程中各因素对毛刺形成影响的一般规律。在此基础上通过合理地选择切削参数以及刀具路径规划，达到了减小毛刺的目的。