【摘 要】
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随着非球面等光学元件在现代光学系统中的广泛应用,对光学元件的加工与检测都提出了更高的要求。接触式测量方法精度通常在微米、亚微米量级上,能满足检测精度要求,已成为当前光学元件测量的主要检测手段。本论文基于合作开发的小型超精密光学元件测量系统,针对超精密测量中的误差分离技术进行了系统研究,主要工作如下:1.建立了数据处理的数学模型。对测量系统中的各种系统误差进行了分析,包括工件安装倾斜带来的线性误差、
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随着非球面等光学元件在现代光学系统中的广泛应用,对光学元件的加工与检测都提出了更高的要求。接触式测量方法精度通常在微米、亚微米量级上,能满足检测精度要求,已成为当前光学元件测量的主要检测手段。本论文基于合作开发的小型超精密光学元件测量系统,针对超精密测量中的误差分离技术进行了系统研究,主要工作如下:1.建立了数据处理的数学模型。对测量系统中的各种系统误差进行了分析,包括工件安装倾斜带来的线性误差、导轨误差、测量坐标系和工件坐标系不重合的位姿误差等,并依次进行了误差的分离消除和补偿;
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