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X射线用于医疗领域由来已久,目前的医学成像技术以X射线透视成像技术发展历史最长、成像技术最完备,已在我国各大省市及县级医院普及。而随着医疗影像的数字化发展,作为数字成像(DR)的核心组件—X射线探测器技术已成为研究热点。目前X线平板探测器(FPD:Flat Panel Detector)技术,以其高效低成本、实时成像、清晰度高等特点受到广泛欢迎,而a-Se作为直接转换型平板探测器较a-Si间接型平板探测器成像质量更高,其核心组成即为非晶硒薄膜。本文以为获得性能较高的非晶硒薄膜为目的,对非晶硒薄膜的生