利用F-P标准具测量透射物镜焦距的研究

来源 :中国计量大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:duzhanghuaduzhanghua
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透射物镜焦距主要测量方法为放大率法,该方法受平行光管制约,存在物镜焦距准确度难以提高且难以溯源的问题。本文研究了一种基于法布里-珀罗(Fabry–Pérot,F-P)标准具的透射物镜焦距测量新方法。该方法利用单色光经F-P标准具后产生的系列圆锥光束作为测量标准光束,该光束经待测透射物镜在焦平面处成像为一系列同心圆环,通过对同心圆环规模数据的处理实现待测透射物镜焦距的准确测量。由于采用标准光谱线的多波长小数重合法可以准确测定F-P标准具间隔,并用于规律已知的同心圆环的参数计算,使该测量方法具备自校准特性。论文主要完成以下工作:(1)从F-P标准具多光束干涉原理出发,分析了F-P标准具成像同心圆环的规律和特点;研究了利用F-P标准具实现焦距测量的原理和方法,用回归计算方法推导了透射物镜焦距理论测量计算模型;同时对焦距的自校准测量方法进行了分析讨论。(2)依据成像同心圆环特点,深入研究了面阵图像信息的数据处理方法;提出并实现了一种面阵像元内插细分与平滑化方法,减小了像元带来的系统误差;应用回归计算方法对圆环上极值点位坐标进行细分,进一步提高了测量准确度。(3)以焦距测量模型为基础,搭建了焦距测量用实验装置,汞光谱灯绿线作焦距测量用波长,同时采用面阵图像信息数据处理方法对干涉圆环进行处理;实验对75mm的待测透射物镜进行测量,分析了焦距测量不确定度分量,重点研究了调焦误差对焦距测量结果的影响;获得以面阵虚拟像元间距w?为单位的自校准后的透镜焦距相对测量值为f w?=63711.9,其相对扩展不确定度为0.031%。进一步讨论了测量实验改进和像元间距w定度的方案,可望将相对扩展不确定度进一步降低。
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